羅升與橫河電機技術合作開發的DD（Direct Drive）馬達平臺，是一種高精度、高性能的直線電機系統。在半導體行業中，DD馬達因其直接驅動特性被廣泛應用在晶圓激光切割機上。 DD馬達作為一種直接將電能轉化為線性運動的執行器，其優勢在于具有極高的定位精度（通常達到微米級或納米級）、響應速度快、運行平穩以及結構簡單、維護成本低等優點。在晶圓激光切割機中，DD馬達作為關鍵的伺服控制系統組成部分，能夠精確控制激光頭沿著預定路徑移動，實現對硅片表面進行高效、高質量的連續切割作業。 具體應用時，DD馬達通過與橫河電機先進的控制器配合，可以實時監測并調整切割過程中馬達的速度和位置，確保激光焦點穩定，切割軌跡一致，從而大大提高生產效率和切割質量，對于保證晶圓制造過程中的良率至關重要。因此，羅升橫河直線電機-DD馬達平臺在晶圓激光切割機領域的應用得到了廣泛的認可和好評。